MEMS壓力傳感器主要應用在(zai)測量(liang)氣囊壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)、燃油壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)、發動機機油壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)、進氣管道(dao)壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)及輪胎壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)。這種傳感(gan)器用單晶硅(gui)作材料,就應用到(dao)鉑金(jin)絲(si)/金(jin)絲(si)焊接單晶硅(gui)精(jing)密點(dian)焊工藝,

在(zai)以采用MEMS技術在(zai)材料(liao)中(zhong)間制作(zuo)成力敏膜片,然后在(zai)膜片上(shang)擴散雜質形成四只應變(bian)電(dian)阻,再以惠斯(si)頓電(dian)橋方(fang)式(shi)將(jiang)應變(bian)電(dian)阻連(lian)接(jie)成電(dian)路,來獲得高靈敏度。車用MEMS壓力傳感器有(you)電(dian)容式(shi)、壓阻式(shi)、差(cha)動變(bian)壓器式(shi)、聲表(biao)面波式(shi)等幾種(zhong)常見的形式(shi)。


而(er)MEMS的(de)原理是基于(yu)牛頓的(de)經典力學定(ding)律,通(tong)常由懸掛(gua)系(xi)統(tong)和(he)檢(jian)測質量組成,通(tong)過(guo)微硅質量塊的(de)偏移實現對加速(su)度的(de)檢(jian)測,主要用(yong)于(yu)汽車安全(quan)氣囊系(xi)統(tong)、防滑系(xi)統(tong)、汽車導(dao)航(hang)系(xi)統(tong)和(he)防盜(dao)系(xi)統(tong)等(deng),除了(le)有(you)(you)電(dian)容(rong)式(shi)(shi)(shi)(shi)、壓阻式(shi)(shi)(shi)(shi)以外,MEMS加速(su)度計還有(you)(you)壓電(dian)式(shi)(shi)(shi)(shi)、隧(sui)道電(dian)流型(xing)、諧振式(shi)(shi)(shi)(shi)和(he)熱電(dian)偶式(shi)(shi)(shi)(shi)等(deng)形式(shi)(shi)(shi)(shi)。其(qi)中,電(dian)容(rong)式(shi)(shi)(shi)(shi)MEMS加速(su)度計具有(you)(you)靈敏(min)度高、受溫度影響極小等(deng)特點(dian),是MEMS中的主流產品。其中貴金屬絲線(鉑金絲/金絲焊接)尤為重要。微陀螺儀是一種角速率傳感器,主要用于汽車導航的GPS信號補償和汽車底盤控制系統,主要有振動式、轉子式等幾種。應用很多的屬于,它利用單晶硅或多晶硅的振動質量塊在被基座帶動旋轉時產生的哥氏效應來感測角速度。在其芯片鉑金絲/金絲焊接有為重要,例如汽車在轉彎時,系統通過陀螺儀測量角速度來指示方向盤的轉動是否到位,主動在內側或者外側車輪上加上適當的制動以防止汽車脫離車道,通常,它與低加速度計一起構成主動控制系統。

中國在(zai)?MEMS?傳(chuan)感器(qi)領(ling)域(yu)鉑金絲焊接的(de)研(yan)究較(jiao)晚,但已(yi)經(jing)成(cheng)為不可或缺的(de)力量,在創(chuang)新主(zhu)體協(xie)同格(ge)局前提下,加(jia)大(da)政(zheng)府科(ke)技資金(jin)投入不但可以消解技術創(chuang)新發展(zhan)中的(de)資金(jin)阻滯(zhi),又(you)有(you)助于引導(dao)企(qi)業或單(dan)位技術創(chuang)新意識,從而提高我國創(chuang)新驅動(dong)效(xiao)率,促進經(jing)濟快速而穩(wen)健(jian)的(de)發展(zhan) 。更多焊接工藝問題可(ke)留言或(huo)者(zhe)電話咨詢。